- 鍍層可測范圍:3 鋰 Li~92 鈾 U
- 元素檢測范圍:13鋁AI~92 鈾 U
- 檢出限:金屬鍍層分析最薄可達0.005um
- 測試面積:0.02mm2
- 樣品移動平臺:全自動高多點測試XY移動平臺
全自動微區鍍層膜厚測試儀是由江蘇天瑞儀器股份有限公司研發、生產、銷售一體化的全自動微區鍍層膜厚測試儀。
全自動微區膜厚測試儀是天瑞儀器股份有限公司集多年X熒光膜厚測量技術,專門研發的一款上照式膜厚測試儀。相比于傳統的鍍層測厚設備,不僅在常規的傳統電鍍上表現更加顯現,更能很好地滿足半導體、芯片及PCB等行業的非接觸微區鍍層厚度測試需求。儀器外觀簡潔大方,通過自動化的X軸丫軸Z軸的三維移動,雙激光定位和保護系統,實現對平面、凹凸、拐角、弧面等各種簡單及復雜形態的樣品進行快速對焦準確分析。
采用進口高分辨率的FAST SDD探測器,高達140ev分辨率,能準確地解析每個元素的特征信號,針對復雜底材以及多層復雜鍍層,優勢巨大。
進口的高功率大高壓單元搭配進口大功率X光管,能很好的保障信號輸出與激發的穩定性,同時,故障率也極大的降低。
高準確度自動化的X軸,Y軸以及Z軸的三維聯動,更準確快速地完成對微小異型(如弧形、拱形、螺紋、球面等)測試點的定位。
設計亮點
上照式設計,可適應更多異型微小樣品的測試。
全新的光路,更短的光程,相較傳統光路,信號采集效率提 升2倍以上。
可變焦高精攝像頭,搭配距離補正系統,不僅可適應微小產品,同時也兼顧了臺階,深槽,沉孔樣品的測試需求。
可編程多點測試,能自動完成對多個樣品多個點的測試,大 大提高測樣效率。
自帶數據校對系統,讓您永遠不再為數據突然變化而擔心。